Inficon HPG400 353-520高压强热电离真空计

INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离和皮拉尼传感器组合在一个简单,小型,经济的组装件中,测量压强范围从 2 x 10-6 毫巴至大气压(1.5 x 10-6 乇至大气压). HPG400 提供高度可重复和可再生的压强测量用于精确的溅射过程压强控制.

优势：
HPG400 节省成本和工具空间和减少真空系统安装和设置的复杂性
高压强热电离真空计提供精确,可靠的压强测量从1 x 10-5 至 1 毫巴, 用于改进的过程控制
用户可选的热离子发射作用于 5 x 10-2 与 1 毫巴之间
皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁
可选图形显示器和现场总线接口
自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预
RoHS 兼容性

应用：
溅射应用于半导体制造,电子学和介质工业中
工业镀膜
一般真空测量和控制在低**真空范围